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五氧化三钛(Ti3O5)-蒸发镀膜材料


飞艇计划群名称:五氧化三钛(Ti3O5),英文名:Titanium(Ⅴ) Oxide;

分子式:Ti3O5;

规格:1~3mm;3~5mm; φ10×10mm;

折射率:2.35/500mm;

透光率:0.4~12μ;

飞艇计划群蒸发温度:1800℃~2000℃;

蒸发源:E;

应用:A R Coatings.Mutilayers.增透膜、多层膜.

靶材的主要性能指数

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。   

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。   

飞艇计划群晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

五氧化三钛(Ti3O5)-蒸发镀膜材料 2017-7-25 本文被阅读 2456 次
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